什么是IC？IC即集成電路，是電子設(shè)備中最重要的部分，承擔(dān)著運算和存儲的功能。IC裝備是指生產(chǎn)半導(dǎo)體器件、集成電路芯片和平板顯示器的專用生產(chǎn)設(shè)備。IC是計算機業(yè)、數(shù)字家電業(yè)、通信等行業(yè)的“心臟”。而生產(chǎn)“心臟”部件的設(shè)備————IC裝備業(yè)，因占據(jù)了科技的制高點，被稱為制造業(yè)的“珠穆朗瑪峰”。

    我國彩電、手機、臺式計算機、DVD播放機等產(chǎn)品的產(chǎn)量雖居世界第一，但關(guān)鍵芯片仍依賴進口。就單一產(chǎn)品而言，芯片已經(jīng)成為我國進口總值最大的商品。IC產(chǎn)業(yè)是一個技術(shù)密集和資金密集的產(chǎn)業(yè)。說它小，IC產(chǎn)品可以比紙片薄，卻比黃金貴。說它大，IC產(chǎn)業(yè)事關(guān)國民經(jīng)濟與國防安全，是一個先導(dǎo)性、戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè)。

    自主創(chuàng)新 培育產(chǎn)業(yè)集群

    “我們可以生產(chǎn)IC產(chǎn)品，但我們現(xiàn)在全部依靠進口IC設(shè)備。如果IC裝備業(yè)不能依靠自主創(chuàng)新盡快趕上來，我國IC產(chǎn)業(yè)只能是‘代代引進、代代落后’，總是受制于人。”沈陽IC裝備創(chuàng)新產(chǎn)業(yè)園負責(zé)人鄭廣文這樣介紹沈陽IC起步的背景。

    介入IC裝備制造領(lǐng)域，沈陽不是最早的卻是發(fā)展最快的。作為東北裝備制造業(yè)基地，沈陽瞄準國際IC產(chǎn)業(yè)及其裝備產(chǎn)業(yè)向中國轉(zhuǎn)移的發(fā)展契機，將IC裝備制造作為老工業(yè)基地產(chǎn)業(yè)升級的著力點加以推動發(fā)展，并于2004年率先建立了全國第一個IC裝備制造產(chǎn)業(yè)基地，2005年建設(shè)了沈陽IC裝備創(chuàng)新產(chǎn)業(yè)園，并編制了發(fā)展IC裝備產(chǎn)業(yè)的“十一五”規(guī)劃。

    目前，沈陽IC裝備產(chǎn)業(yè)基地聚集了中科儀、芯源半導(dǎo)體、新松機器人、博微公司等涵蓋IC裝備產(chǎn)業(yè)鏈上多數(shù)環(huán)節(jié)的30多家IC裝備廠商，產(chǎn)業(yè)園區(qū)也從最初的零部件加工、子系統(tǒng)研制發(fā)展到單元、整機制造全面發(fā)展格局，產(chǎn)業(yè)集群已經(jīng)初步形成。各企業(yè)之間優(yōu)勢互補、通力合作，在超真空獲得系統(tǒng)、成膜設(shè)備、勻膠顯影機、真空潔凈機器人、超潔凈真空泵和高精度零部件加工等方面取得了重要突破，其中勻膠顯影設(shè)備使國內(nèi)技術(shù)水平提升了3個產(chǎn)品代，達到國際先進水平，另有多項產(chǎn)品填補國內(nèi)空白。

    從科技成果來看，由沈陽芯源微電子設(shè)備有限公司研制的12英寸晶圓先進封裝設(shè)備通過嚴格的工藝檢測驗收，已正式投入生產(chǎn)使用。這是國內(nèi)首臺12英寸芯片制造設(shè)備，是國產(chǎn)IC裝備在晶圓尺寸和新工藝應(yīng)用上的重大突破。2007年6月，沈陽IC裝備產(chǎn)業(yè)基地被國家認定為全國中小企業(yè)技術(shù)服務(wù)項目試點產(chǎn)業(yè)集群之一，是全國惟一的IC裝備產(chǎn)業(yè)集群試點。

    發(fā)揮優(yōu)勢  實現(xiàn)錯位發(fā)展

    IC裝備產(chǎn)業(yè)林林總總，全面突破技術(shù)瓶頸并順利實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化，靠任何一個城市的單兵突進都是不可能完成的任務(wù)。沈陽IC產(chǎn)業(yè)的跨越式發(fā)展得益于“發(fā)揮比較優(yōu)勢錯位發(fā)展”的思路。

    早在“十五”期間，北京市和上海市就在刻蝕機、離子注入機和光刻機三項IC裝備研發(fā)領(lǐng)域加大投入，并爭取到國家專項資金近10億元。IC裝備核心技術(shù)的突破，依然面臨技術(shù)瓶頸下移的掣肘，真空泵、閥門、機械手等基礎(chǔ)單元部件依然全部依賴進口。而在這些環(huán)節(jié)，沈陽IC裝備產(chǎn)業(yè)卻積累了很多研發(fā)力量并取得了相應(yīng)的技術(shù)成果，比如IC產(chǎn)業(yè)必需的真空技術(shù)、自動化技術(shù)、特種工藝等方面沈陽具有得天獨厚的條件。

    沈陽擁有我國惟一的國家真空儀器裝置工程技術(shù)研究中心、惟一的真空專業(yè)博士點，擁有我國機器人研究開發(fā)的頂尖機構(gòu)(中科院沈陽自動化所)、擁有較早研制生產(chǎn)半導(dǎo)體器件和集成電路的研究所(東北微電子研究所)，同時還擁有IC裝備應(yīng)用材料的技術(shù)支撐機構(gòu)————中科院沈陽金屬研究所。沈陽IC產(chǎn)業(yè)因而得到了協(xié)調(diào)發(fā)展，不僅有能力實現(xiàn)以上單元部件自給自足，同時為建設(shè)我國最大的IC裝備單元部件制造基地做好了技術(shù)準備。正因如此，沈陽與北京、上海的IC裝備產(chǎn)業(yè)基地相比起步晚、規(guī)模小，但發(fā)展勢頭非常強勁，用兩年的時間迅速躋身于我國IC裝備產(chǎn)業(yè)基地之列，迎來了歷史性的發(fā)展機遇。2006年1月，中國工程院信息裝備制造業(yè)調(diào)研組到沈陽調(diào)研時給予中肯評價：北京、上海、沈陽是全國IC裝備方面最具優(yōu)勢的地域，沈陽IC裝備產(chǎn)業(yè)已和北京、上海形成三足鼎立之勢。

    即便如此，沈陽依然有很強的緊迫感。沈陽渾南新區(qū)、沈陽國家高新技術(shù)開發(fā)區(qū)管委會主任黃凱介紹說，IC產(chǎn)品、IC裝備全球市場需求每年都有上千億美元，然而無論是我國IC裝備產(chǎn)業(yè)的規(guī)模還是技術(shù)水平，與世界先進水平都存在較大差距。國外12英寸晶圓設(shè)備已經(jīng)成熟，我國8英寸晶圓設(shè)備仍在試制階段，70%以上的8英寸生產(chǎn)線采購的是二手設(shè)備，還沒有真正形成核心產(chǎn)品和關(guān)鍵技術(shù)的開發(fā)能力，沒有能與跨國公司抗衡并不斷促進產(chǎn)業(yè)升級的龍頭企業(yè)。高端IC裝備與材料完全依賴進口、制造工藝自主創(chuàng)新能力不足的局面亟待扭轉(zhuǎn)，設(shè)備材料等的高門檻嚴重制約著產(chǎn)業(yè)可持續(xù)發(fā)展能力和市場核心競爭力的建立。

    整合資源  打造產(chǎn)業(yè)價值鏈

    從全球范圍來看，IC裝備制造業(yè)集中度很高，1%的企業(yè)占據(jù)著90%以上的市場份額，因此“強者恒強”是這一行業(yè)的基本特征。

    建設(shè)完整的集成電路產(chǎn)業(yè)鏈對于我國的經(jīng)濟安全來說十分必要。面對IC產(chǎn)業(yè)的技術(shù)封鎖和知識產(chǎn)權(quán)壁壘，IC設(shè)備的國產(chǎn)化取得突破性進展必須有新的途徑、新的思路。鄭廣文說：“引進國外智力、國際廠商并使其本地化是IC裝備制造業(yè)國產(chǎn)化的一個重要途徑。另外，國內(nèi)廠家應(yīng)該與國際大廠商加強合作，借助對方在渠道、技術(shù)和品牌等方面的優(yōu)勢�！痹诟叨巳瞬乓�進方面，沈陽渾南新區(qū)不求所有，但求所用，以政策扶持、金融支持的吸引力，凝聚了眾多國內(nèi)外優(yōu)秀企業(yè)的領(lǐng)軍人物，吸引了一批優(yōu)秀的海外技術(shù)專家。在企業(yè)引入上，渾南新區(qū)注重大企業(yè)大項目的牽動作用。

    由于我國IC裝備企業(yè)還多數(shù)處于起步階段，有一個良好的孵化、破殼、成長環(huán)境至關(guān)重要。作為目前國內(nèi)惟一的IC裝備專業(yè)孵化器，沈陽IC裝備產(chǎn)業(yè)(孵化)園千方百計為IC裝備企業(yè)的孵化、發(fā)展提供完善的服務(wù)體系和技術(shù)支撐，現(xiàn)已建立了市場開發(fā)和公共技術(shù)研發(fā)兩大中心和零部件公共檢測、公共潔凈環(huán)境裝配以及零部件加工三大平臺，為沈陽IC裝備產(chǎn)業(yè)集群內(nèi)企業(yè)提供必須的公共技術(shù)服務(wù)，解決企業(yè)成長、發(fā)展的共性問題。園區(qū)企業(yè)在公共技術(shù)研發(fā)和攻關(guān)合作上互相支持，已開展一系列項目合作。比如，芯源公司、科儀公司與博微公司聯(lián)合研發(fā)IC裝備公共控制軟件平臺，新松公司與芯源公司聯(lián)合開發(fā)真空機械手，沈陽先進制造技術(shù)產(chǎn)業(yè)發(fā)展公司與中科院沈陽自動化所聯(lián)合開發(fā)SRP系統(tǒng)。

    《國家中長期科學(xué)和技術(shù)發(fā)展規(guī)劃綱要(2006—2020年)》已經(jīng)把核心電子器件、高端通用芯片及大規(guī)模集成電路制造技術(shù)及成套工藝等列為重大專項；在國家發(fā)改委、信息產(chǎn)業(yè)部、科技部共同發(fā)布的《我國信息產(chǎn)業(yè)擁有自主知識產(chǎn)權(quán)的關(guān)鍵技術(shù)和重要產(chǎn)品目錄》中，多項內(nèi)容都涉及IC與元器件等基礎(chǔ)電子產(chǎn)品。

    即將出臺的《鼓勵軟件產(chǎn)業(yè)和集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的新政策》，包括國家中長期科學(xué)和技術(shù)發(fā)展規(guī)劃相關(guān)的集成電路技術(shù)兩大重大科技專項，是我國IC產(chǎn)業(yè)發(fā)展史上又一重大政策措施。它不僅引導(dǎo)我國IC技術(shù)創(chuàng)新及其進步，建立自主知識產(chǎn)權(quán)的創(chuàng)新體系，進而對資金、人才等資源集聚，推動創(chuàng)業(yè)投資，扎實打造起我國IC創(chuàng)新產(chǎn)品開發(fā)及其產(chǎn)業(yè)化的整個價值鏈都起著不可或缺的作用。